高精度ジンバル(平面倣い装置)

高精度ジンバル(平面倣い装置)

独自技術により1円玉1枚でもならいます
(特許第4140811号)

スタンダードジンバル

    特徴

  • 高精度の平面倣い機構を有するステージです。
  • 360°安定した傾斜角駆動が可能です。
  • 必要搭載荷重に応じて製作が可能(0.5~200[kgf])
    ニーズに応じてさらに低・高荷重域の製作も可能です。
  • アライメント後のステージ角度を固定するブレーキ機構を標準搭載しております。
  • ステージ面より上に構成部が無い為、作業スペースを大きく確保できます。

Alignment-平面倣い機構-

  • 合わせたい二つの面が平行でない場合

  • 対象の面に倣うように調整できます

スタンダードジンバル

耐荷重180[N]オプション対応にて変更可能
傾斜角度±2[度]
傾斜半径66[mm]
外形寸法□122[mm]
重量3.5[kgf]

傾斜中心の位置は倣い動作によって変化しません。ロードセルを搭載すれば、加圧する機構に荷重をフィードバック可能です。

ジンバルシリーズ(平面倣い装置)

用途に応じて様々なタイプをご用意しております。大手半導体メーカーを中心に多数の導入実績とニーズに合わせたカスタマイズが可能です。

  • リングタイプ

    中空ジンバルの設計に対応できます。
    下方よりカメラ等で視認したい場合に便利です。

  • ハンギングタイプ

    倣い面を下側に設計可能です。
    加圧側の面を倣わせたい場合便利です。

  • 超高真空対応タイプ

    倣い面を金属ベローズによりジンバル機構部と分離することで超高真空化での面出しを行うことが出来ます。
    金属ベローズの性能によりますが、1X10-9Pa・[m3/s]の検出器で漏れが検出されなかった実績があります。

  • 高耐荷重タイプ

    ジンバル外径180[mm]で耐荷重40[ton]の実績があります。

よくある質問

Qロードセルはついてますか?
A付いておりませんが、オプション対応可能です。
Qエアーと電気は必要ですか?
Aステージをロックするために正圧エアーは必要になります。電気は不要です。
Qクリーンルームに対応してますか?
A対応しておりませんが、過去にオプションで対応した実績はございます。
Q納期はどのくらいですが?
Aスタンダードジンバルで2ヶ月程度になりますが、別タイプやオプションによって変更になります。
Q使用条件はありますか?
A劣悪な環境でなければ特にありません。
Qジンバル取り付け面に制約はありますか?
A取り付け面の平面度は□0.2[mm]以下,傾きは±2.5[mm/m]度以下としてください。取り付け面の精度が悪いと倣い動作に支障をきたす場合があります。
Qその他どの様な追加仕様がありますか?
A倣い面温度・気圧・傾斜角度・クリーン度・振動・小型化があります。