高精度ジンバル(平面倣い装置)

傾斜中心の位置は倣い動作によって変化しません。ロードセルを搭載すれば、加圧する機構に荷重をフィードバック可能です。

使用方法によりさまざまなカスタマイズが可能です！！
お気軽にお問合せ下さい。

用途に応じて様々なタイプをご用意しております。大手半導体メーカーを中心に多数の導入実績とニーズに合わせたカスタマイズが可能です。

超高真空対応タイプ

倣い面を金属ベローズによりジンバル機構部と分離することで超高真空化での面出しを行うことが出来ます。
金属ベローズの性能によりますが、1X10-9Pa・[m3/s]の検出器で漏れが検出されなかった実績があります。
高耐荷重タイプ

ジンバル外径180[mm]で耐荷重40[ton]の実績があります。

Qロードセルはついてますか？: A付いておりませんが、オプション対応可能です。
Qエアーと電気は必要ですか？: Aステージをロックするために正圧エアーは必要になります。電気は不要です。
Qクリーンルームに対応してますか？: A対応しておりませんが、過去にオプションで対応した実績はございます。
Q納期はどのくらいですが？: Aスタンダードジンバルで2ヶ月程度になりますが、別タイプやオプションによって変更になります。
Q使用条件はありますか？: A劣悪な環境でなければ特にありません。
Qジンバル取り付け面に制約はありますか？: A取り付け面の平面度は□0.2[mm]以下,傾きは±2.5[mm/m]度以下としてください。取り付け面の精度が悪いと倣い動作に支障をきたす場合があります。
Qその他どの様な追加仕様がありますか？: A倣い面温度・気圧・傾斜角度・クリーン度・振動・小型化があります。